El sistema UHP CDM de suministro químico para semiconductores aporta control de contaminación en rango ppt, automatización mediante PLC y construcción en acero inoxidable 316L electropulido con acabado 5Ra.
El nuevo CDM de Jewellok Technology es un sistema de suministro de productos químicos líquidos de ultraalta pureza orientado a fabricación de semiconductores y producción fotovoltaica.
Control de pureza y materiales para procesos de oblea
La solución se ha diseñado para procesos submicrónicos en los que las impurezas químicas deben mantenerse en niveles de partes por billón, abreviado como ppt.
Su arquitectura combina sistemas CDS y módulos CDM para transportar reactivos, disolventes y agentes de limpieza sin comprometer la integridad del fluido.
La construcción en acero inoxidable 316L electropulido con acabado superficial 5Ra reduce la liberación de partículas y minimiza la lixiviación química.
Ese enfoque resulta especialmente relevante en líneas de procesado de obleas donde el margen de contaminación se ha estrechado con la reducción de nodo.
Jewellok integra además válvulas de diafragma UHP y reguladores de presión de alta precisión dentro de un colector automatizado para enlazar el almacenamiento a granel con la herramienta de proceso.
Automatización y dosificación en el CDM
El módulo CDM actúa como solución de punto de uso para la mezcla precisa de químicos concentrados con agua desionizada.
Gracias a esa automatización, el equipo evita errores manuales y mejora la repetibilidad en aplicaciones como CMP, es decir, planarización químico-mecánica, y grabado húmedo.
Los controles PLC, o controladores lógicos programables, junto con sensores sin contacto, permiten una monitorización en tiempo real del proceso.
Según los datos facilitados, esa supervisión contribuye a reducir el tiempo de inactividad relacionado con productos químicos entre un 25 y un 30 %.
La configuración modular también facilita la adaptación del sistema a distintas etapas de fabricación avanzada.
Seguridad operativa y continuidad de producción
En el apartado de seguridad, la plataforma incorpora inertización con nitrógeno para disolventes orgánicos, contención secundaria y detección automática de fugas.
Los conjuntos VMB, o Valve Manifold Boxes, permiten aislar herramientas concretas de producción durante tareas de mantenimiento.
Esa capacidad de sectorización ayuda a mantener una disponibilidad del 99,9 % en el resto de la instalación, según indica el fabricante.
El planteamiento convierte al sistema UHP CDM de suministro químico para semiconductores en una infraestructura de fluidos pensada para fabs de nueva generación y entornos fotovoltaicos exigentes.
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