El convertidor de termometría de fibra óptica compacto M-1200 amplía el rango de medición hasta 450 °C, incorpora comunicación EtherCAT ultrarrápida y permite controlar hasta cinco canales con alta precisión.
El nuevo M-1200 de Advanced Energy es un convertidor de termometría de fibra óptica (FOT) diseñado para procesos avanzados de grabado y deposición en la industria de semiconductores.
Así, su diseño compacto y su capacidad para operar en entornos exigentes garantizan un rendimiento estable y repetible, mejorando la calidad de fabricación y el rendimiento del proceso.
Alta precisión y amplio rango de temperatura
El M-1200 ofrece un rango de medición que abarca desde -200 hasta 450 °C, con una precisión de ±0,15 °C y un nivel de ruido inferior a 0,1 °C.
Este rango permite su uso en una amplia gama de aplicaciones como epitaxia, CVD o deposición de películas finas, donde se requiere una monitorización térmica precisa y estable.
La comunicación mediante EtherCAT de alta velocidad posibilita una frecuencia de lectura de hasta 50 Hz, facilitando la transmisión rápida de los datos de temperatura en tiempo real.
Además, el convertidor puede gestionar hasta cinco canales de medición de manera simultánea, simplificando la integración en equipos complejos de control de procesos.
Diseño compacto y fácil integración en sistemas OEM
En principio, el formato reducido del M-1200 permite su montaje directo en carril DIN, optimizando el espacio disponible en los armarios de control. Su estructura robusta garantiza un funcionamiento fiable incluso en entornos industriales severos, manteniendo la estabilidad térmica y eléctrica.
El uso de formulaciones de fósforo exclusivas en las sondas mejora la respuesta del sensor según el rango de temperatura requerido, ofreciendo flexibilidad y personalización para distintos procesos OEM.
Gracias a su tecnología de medición sin contacto, el dispositivo minimiza los errores de compensación térmica y maximiza la precisión en la monitorización.
El soporte técnico de Advanced Energy proporciona asistencia especializada para la adaptación del convertidor a cada sistema de fabricación, asegurando una integración eficiente y un control térmico óptimo.
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